老虎說芯

“老虎說芯”由北京大學微電子專業本碩，中國電源學會會員、在半導體行業有10多年經驗的胡獨巍先生撰寫，為大家提供半導體行業關于材料、工藝、應用、市場、資訊等方面的內容。在知乎有同名賬號。

更新日期： 2025-01-15
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可以將FE比作是一個“戰地指揮官”，他們直接面對現場的挑戰，帶領團隊解決問題。在工廠或生產現場，FE就像是“設備的醫生”，時刻關注設備的健康狀況，及時為設備“治療”，確保生產的順利進行。FE的職責不僅僅是“修理”問題，還包括“預防”問題，通過現場的分析與優化，減少設備故障和生產停滯的風險。 1. 定義和角色定位 ……

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什么是邊緣芯片（edge die）

更新日期： 2025-01-15
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邊緣芯片（edge die）是指位于晶圓邊緣區域的芯片，由于晶圓制造過程中的掩模對準誤差或晶圓切割等原因，這些芯片可能在設計上存在缺陷或尺寸不完整。以下是對邊緣芯片的詳細解釋： 1. 邊緣芯片的形成原因晶圓制造過程中，光刻、沉積、刻蝕等工藝的作用通常會集中在晶圓的中心區域，因為這些區域的對準精度更高、工藝……

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一文解讀半導體掩膜版

更新日期： 2025-01-15
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晶圓制造核心材料掩膜版，亦稱光罩，是微電子制造領域內光刻工藝不可或缺的核心組件，其角色相當于傳統攝影中的“底片”，扮演著承載精密圖形設計和技術知識產權信息的媒介角色。這一技術廣泛應用于半導體生產、平板顯示制造、電路板生產及觸控屏產業等多個高科技領域。依據最終應用領域的差異，掩膜版被細分為平板顯示掩膜版、……

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BOAT（晶舟）：承載和傳送晶圓的工具

更新日期： 2025-01-15
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在半導體集成電路(IC)制造過程中，BOAT（晶舟）是一種常用的工具，主要用于承載、傳送、清洗和處理芯片。它的作用類似于運輸工具，確保芯片在復雜的制造工藝中能夠順利、安全地完成各個環節的處理。一、BOAT的定義與功能 BOAT是半導體制造過程中用于承載和傳送芯片的工具。它的名稱“晶舟”形象地比喻了其在半導……

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晶圓定位邊（wafer flat）和凹槽（notch）之間的關系

更新日期： 2025-01-15
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晶圓定位邊（wafer flat）和凹槽（notch）是晶圓制造過程中用于確定晶圓方向的重要特征，它們在晶圓的加工、對準和檢測中發揮著至關重要的作用。 1. 晶圓定位邊（Wafer Flat）晶圓定位邊是指晶圓外緣上平直的部分，它用于標記晶圓的特定方向，確保在晶圓的加工和處理過程中，晶圓能夠正確地對準。可……

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為什么晶圓的邊需要鋪滿電路？

更新日期： 2025-01-15
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晶圓制造工藝是半導體生產中的關鍵步驟，晶圓的邊緣區域對整個制造過程和成品良率具有重要影響。 1. 防止邊緣效應影響芯片質量邊緣效應指的是由于晶圓邊緣的處理不同于中心區域，導致的電學和物理性能的差異。晶圓邊緣由于距離加工工具較遠或光刻曝光時的處理不均，可能會出現性能不穩定的情況。比如，金屬層和通孔的連接可能……

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FAB中PIE的作用和要求

更新日期： 2024-12-18
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工藝整合工程師（Process Integration Engineer，PIE）是半導體制造領域的重要崗位，負責協調和優化整個芯片制造流程中的工藝整合。這一角色需要將多個制造工藝步驟整合為一個無縫的流程，以確保芯片的性能、良率和可靠性。一、核心職責 1、工藝整合將不同的工藝模塊（如光刻、蝕刻、……

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描述晶圓薄膜厚度的單位：埃

更新日期： 2024-12-18
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1、什么是埃（Angstrom）？埃（符號：?）是一種非常小的長度單位，主要用于表示微觀領域的尺度，例如原子、分子之間的距離，或者晶圓制造中的薄膜厚度。1 ? 等于 (10^{-10}) 米，也就是0.1納米（nm）。為了更直觀地理解這個概念，我們可以通過以下比喻說明：一根人的頭發直徑約為70,000納……

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SMIC MPW班車表中如何理解AT、MV、HE、ATV？

更新日期： 2024-12-18
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"AT"、"MV"、"HE"、"ATV"實際上是SMIC在其晶圓制造工藝中使用的一些標識符，通常與特定的工藝、技術類型和特色流程相關。SMIC 2025 MPW 班車表如下： 1. AT — Advanced ……

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晶圓刻蝕工藝中的Qtime管控

更新日期： 2024-12-18
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Qtime管控（Queue Time Control）是半導體制造過程中一個重要的和效率管理環節，尤其在刻蝕工藝（ETCH）中顯得尤為重要。一、Qtime的定義和重要性 Qtime（Queue Time）即“排隊時間”，是指在生產流程中，某一工序或設備在接收到任務后，等待處理的時間。具體來說，Qtime是指晶圓在一個工序的前一工序完成到該工序開始的時間間隔。在刻蝕工藝中，Qtime主要是指晶圓在不同的刻蝕步驟之間的等待時間，或者從晶圓進入刻蝕機到開始刻蝕的時間。 Qtime的管控至關重

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如何理解晶圓制造的生產周期時間（Cycle Time）

更新日期： 2024-12-09
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作為晶圓制造中的核心指標之一，生產周期時間（Cycle Time，簡稱CT）對于衡量制造效率和產能至關重要。 1. 什么是生產周期時間？生產周期時間是指從生產原料（如硅片）進入生產線，到最終產品（如完成制造的晶圓或芯片）從生產線輸出所需要的全部時間。在晶圓制造領域，Cycle Time 是衡量生產效率、分……

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晶圓制程recipe的定義、種類、構建與驗證、優化及其在工藝流程中的作用

更新日期： 2024-12-09
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在半導體制造領域，recipe（工藝配方）是指一套精確定義的工藝參數和操作程序，用于指導生產設備執行特定的加工任務。它貫穿于晶圓制造的各個工藝環節，是實現工藝穩定性、產品質量控制以及生產效率提升的核心工具。一、Recipe 的定義與重要性 1、什么是Recipe？ Recipe 是一套設備參數的集合……

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