眾所周知，荷蘭艾司摩爾（ASML）光刻機一直是半導體制造的關鍵設備，尤其[敏感詞]生產的極紫外光刻機（EUV）更是不可或缺，也是協助臺積電、三星、英特爾能往更先進制程發展的重要設備，美國限制中國大陸無法取得EUV光刻機，壓制中國大陸半導體發展。
近日，路透社專訪技術了ASML開發副總裁Tony Yen，對ASML 的經營、文化、產品發展進行了一番解析。
問：您如何描述ASML EUV 及功能。 答：我們制造的機器是光刻工具，生產每個人都需要的芯片。目前臺積電、三星、和英特爾是我們的三大客戶。
問：ASML 為該領域的領導者，具備哪些要素？顯然有入門障礙，如前期成本和技術技能。但為什么其他公司不能復制？ 答：ASML 根植于荷蘭文化，公司的決心、工程師的組成、管理層和客戶是成為領導者的因素。 荷蘭人口雖然只有1,700 萬，但公民都受過高等教育。ASML 擁有許多博士和碩士學位員工，且公司非常國際化，餐廳可聽到各種語言交談，包括中文、俄文、東歐文、西班牙文、義大利文、德文等。 因國際化特性，員工被公司文化吸引，這非常重要，將使公司注重結果，且由技術帶動的發展容易實現。公司高階領導人都擁有物理學博士學位或物理學家學位，在ASML 扮演關鍵角色。他們幫助ASML 透過物理學常識發展特殊設備機械，包括提供先進芯片使用的EUV光刻機，這是ASML 成為領導者的關鍵之一。
問：ASML 何時開始考慮發展EUV？ 答：大概始于2000年，公司決定大量開發與生產光刻機。當時日本廠商沒有做，因覺得EUV 系統非常復雜，且無法確保EUV 設備100% 起作用。 ASML有德國合作伙伴蔡司（ZEISS），生產光學系統為主，歷史可追溯到1850 年。ASML 與蔡司合作，蔡司專門為ASML 制造光學系統。ASML 也為蔡司許多開發提供資金，因此蔡司只能出售半導體相關光學系統給ASML。ASML還收購了美國圣地亞哥Cymer，這是使EUV 發揮作用的另一家關鍵廠商。
問：ASML 如何將產品推廣到市場，且之后生產出符合需求和規格的產品？ 答：從早期開發階段開始，兩者是相互的。客戶采用ASML 早期設備，可靠性不高，這些機器有50% 時間是停機狀態，卻能提升生產芯片所需的功能。如果客戶提升芯片生產，或生產更小的芯片，就必須選擇ASML 的機器，但當時這些機器不是必要設備。 [敏感詞]臺EUV 于2010 年送交三星，2011 年送交臺積電，這些都是早期機器。ASML 經歷許多研發，且也讓客戶知道ASML 長期參與客戶開發產品的過程，讓他們對我們設備有信心。對最早期的客戶，ASML 將開發工具放在客戶端，并物理上與客戶共同開發技術，互相合作的基礎上，開發出達到客戶需求的產品。
問：可說明先進制程7nm、5nm、3nm發展狀況嗎？還有先進制程技術的轉移狀態？ 答：大規模生產[敏感詞]制程技術是5nm節點，是臺積電和三星目前的技術。英特爾5nm制程節點落后，甚至7nm制程節點也沒有大規模生產。必須注意的是，因英特爾有更高等級的設計規則，因此英特爾7nm節點相當于臺積電和三星的5nm節點。相關技術并非完全一模一樣，很難說哪家產品較優異。 客戶轉向更高級制造流程，一般所需時間約5 年。ASML 會與客戶相互發展目標，雖無法透露細節，不過大致上是規劃產品，然后獲得董事會許可開發。一旦產品開發成功進入量產階段，出口地點不是受管制國或地區，預計2 年就會運交量產型產品設備。
問：您一定常被問到，且目前情況會加劇的這問題：對摩爾定律到極限有什么看法？ 答：許多人說摩爾定律失效或減速，但我認為沒有，也沒有減速。就ASML的看法，摩爾定律可能還會再延續10 年，甚至更長。且芯片面積微縮未來還可持續至少10年。 人們談論的堆疊芯片的做法，就是所謂的3D整合，臺積電和三星對此也進行了很多討論。ASML 的看法，雖然3D 整合正在發生，但2D 平面芯片面積微縮仍至少可持續10年。為此目標，ASML 下一代EUV光刻設備也積極開發。
問：ASML 是否考慮投資機器學習或5G 標準，這將影響市場需求嗎？對ASML 來說是否太下游？ 答：這距離不算太遠，因蘋果、三星、高通等都在生產5G芯片。華為進入實體清單，因此市場位置被小米和其他中國品牌接收，高通通過三星5nm制程生產的高階芯片，目前進入大量生產，ASML 也在享受美好成果。
問：您對地緣政治有什么看法？ 答：我不是發言人，但ASML 遵守所有法律。如果我們機器一部分是美國制造，且有人列入實體清單，我們就必須遵守美國出口法令。 ASML 美國公關經理Brittney Wolff 補充，這是ASML 必須非常認真考慮的事，因為在許多國家地區都有業務。但ASML 在任何地方發展業務時都遵守當地法令規定，且從來沒有遇到任何挑戰。
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