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ASML、NIKON、CANON光刻機型號參數匯總

發布時間：2024-08-09作者來源：薩科微瀏覽：2956

之前，我發布了一個ASML光刻機的型號參數的匯總列表。看起來大家對這個數據非常感興趣，實際的閱讀量遠超我最初的預估
既然如此，那我就多發布一些數據吧。這次，我干脆把全球前道光刻機供應商御三家：ASML、NIKON、CANON的全部數據都一次性發布出來，供大家參考吧
老粉絲應該或許還記得我以前也發布過這個數據。不過這次，我又增加了不少新的數據：
ASML：增加了[敏感詞]NA值 .55得TWINSCAN EXE；增加了若干老機型的數據（部分數據參考了公眾號：TOM聊芯片智造，特此感謝）
NIKON：增加[敏感詞]的NSR S636E等兩三款型號
CANON：增加FPA Stepper機型若干
基本上，這個表格大體囊括了市面上主流的光刻機數據了，值得大家參考和收藏（限于我個人能力，很可能還有個別遺漏的，也麻煩大家給我留言提醒，謝謝了）
圖片


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